摘 要：為了實(shí)現(xiàn)對高阻計(jì)/靜電計(jì)準(zhǔn)確、可靠的校準(zhǔn)/檢定，特建立高阻計(jì)/靜電計(jì)檢定裝置。該檢定裝置由KEITHLEY 263校準(zhǔn)儀/源組成，采用直接測量法進(jìn)行校準(zhǔn)/檢定工作。通過對其測量不確定度進(jìn)行詳細(xì)評定，證明高阻計(jì)/靜電計(jì)檢定裝置可圓滿地實(shí)現(xiàn)對KEITHLEY 6517A等高精密靜電計(jì)/高阻計(jì)的校準(zhǔn)/檢定，從而大大增強(qiáng)了電磁學(xué)計(jì)量領(lǐng)域高值電阻和微電流等參數(shù)的測試能力。
