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泛華恒興 質(zhì)量流量傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)
北京泛華恒興科技有限公司

 

a)產(chǎn)品概述

質(zhì)量流量傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)作為質(zhì)量流量傳感器生產(chǎn)線終檢校準(zhǔn)設(shè)備，用于小量程質(zhì)量流量傳感器的通訊功能測試以及不同溫度下的校準(zhǔn)，以保證產(chǎn)品質(zhì)量及精度。

b)應(yīng)用專利技術(shù)

本系統(tǒng)中以下技術(shù)正在申請實(shí)用新型或發(fā)明專利：

《批量傳感器固定可識別裝置》
《無繞線針床夾具》
《高密封閥組》
《一種多氣路連接器裝置》

c)系統(tǒng)功能

主要功能

描 述

用戶管理

管理用戶登錄及操作權(quán)限，按權(quán)限高低分為管理員、工程師、技術(shù)員、線長和操作員，管理員具有最高權(quán)限，可以添加、刪除和修改用戶信息；

工單操作

用于創(chuàng)建不同溫度下的工單任務(wù)，只有當(dāng)前存在的工單被終止或完成時(shí)，才能創(chuàng)建下一個(gè)工單；

參數(shù)配置

用于工程師對校準(zhǔn)或測試參數(shù)進(jìn)行配置；

模式選擇

提供生產(chǎn)模式、工程師模式以及校驗(yàn)?zāi)Ｊ焦踩N工作模式；

錯誤日志瀏覽

為用戶提供按時(shí)間查詢的錯誤日志瀏覽；

數(shù)據(jù)存儲

自動存儲測試過程數(shù)據(jù)。

d)特性詳解 

  • 兼容多種信號輸出類型的傳感器——

     

    信號類型

    輸出方式

    模擬量

    電壓信號

    數(shù)字量

    IIC通訊信號

    SPI通訊信號

    PWM脈沖信號

     

  • 溫度可控范圍寬，穩(wěn)定性優(yōu)異——可實(shí)現(xiàn)-20℃~100℃范圍內(nèi)不同溫度點(diǎn)的精確控制，溫度控制精度為 1℃，目標(biāo)溫度下的溫度波動度為 0.2℃；
  • 良好的氣路密封性——采用鋼質(zhì)氣管，采用少接頭設(shè)計(jì)，確保系統(tǒng)密封性。圖示是使用同一傳感器夾具進(jìn)行5次（用不同顏色的曲線代表）泄漏測試時(shí)的泄漏率。（單位為sccm/s，測試壓力為2.5psi，保壓時(shí)間 20s，每個(gè)傳感器夾具包含4條氣路）
  • 高測試校準(zhǔn)精度——氣體流量控制精度達(dá) 1sccm，溫度控制精度 1℃。
  • 高測試效率——系統(tǒng)可同時(shí)對32個(gè)被測件進(jìn)行操作，8路總線并行的設(shè)計(jì)方法和溫度的快速穩(wěn)定為Cycle Time節(jié)約了大量時(shí)間，達(dá)到160 DUTs/h，滿足生產(chǎn)線節(jié)拍的要求。

     測試校準(zhǔn)穩(wěn)定可靠——GRR實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)良好。圖示為校準(zhǔn)200sccm量程的傳感器時(shí)不同流量點(diǎn)下（50/100/160/200sccm）的GRR數(shù)據(jù)，均<10%。

  • 便于維護(hù)——設(shè)計(jì)了專門的探針模塊用于從傳感獲信號點(diǎn)獲取信號，損壞時(shí)更該模塊即可；氣路裝拆方便；繼電器狀態(tài)通過指示燈顯示，指示直觀。
  • 完善的安全機(jī)制——智能流程判斷；提供急停等安全操作機(jī)制，在系統(tǒng)出現(xiàn)突發(fā)狀況時(shí)對人及設(shè)備形成保護(hù)。